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ATE ソリューション

高精度のウェーハ検査装置

半導体ウェーハの外観検査を自動化することにより、半導体ICの品質と信頼性を最高レベルへ引き上げることができ、継続した歩留まりの向上が期待できます。この検査システムは精密光学系とアナログ回路で構成されており、ウェーハ製造工程のいかなる微細な欠陥も見逃しません。最新のプロセスノードでは、技術の進化とともにリソグラフィの微細化が進め、極めて精度の高い検出能力が要求されます。このことは、画像処理システムのアナログ回路とデジタル・アナログ混在回路には大きな負荷になり、たくさんのノイズフィルタが必要になります。消費電力の増大とともにフィルタも大型化し、現行のシステムでは対応が困難になりつつあります。半導体ウェーハ製造の進歩に対応するには、電力供給の新たなアプローチが必要です。

Precision inspection equipment

電力供給ネットワーク (PDN) 

高感度ウェーハ検査システムのノイズを低減するには、電力供給ネットワーク (PDN) を再検討することが効果的です。最初の重要なステップは、システムのバス電圧を、旧式の12Vから電力効率の高い48Vに移行して、効率と熱の問題を改善することです。ただし、ウェーハ検査の要件を完全に満たすには、本質的に低ノイズのソリューションを採用すべきです。Sine amplitude conversion (SAC) 技術を用いた Vicor の 電圧変換比固定コンバータ BCM を使えば、ノイズを軽減しフィルタを減らすことができます。またBCMは小型・薄型であり、放熱性能に優れているため、検査システムの構造設計をシンプルにすることができます。

Power Delivery Network for
BCM bus converters

BCM バスコンバータモジュール

入力電圧: 800 – 48V

出力電圧: 2.4 – 55.0V

出力電流: 最大150A

効率: 最大98%

22.0 x 16.5 x 6.7mm  他

DCM DC-DC converters

DCM DC-DCコンバータ

入力電圧: 9 – 420V

出力電圧: 3.3, 5, 12, 13.8, 15, 24, 28, 36, 48V

出力電力: 最大1300W

効率: 最大96%

24.8 x 22.8 x 7.2mm など

ZVS 降圧レギュレータ

入力電圧: 12V (8 – 18V), 24V (8 – 36V), 48V (30 – 60V)

出力電圧: 1 – 16V 

出力電流: 最大22A

ピーク効率: 最大98%

10.0 x 10.0 x 2.5mm 他

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後日、Vicor株式会社 (Vicor KK)の担当者よりご連絡いたします。