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ATE solutions

精密檢測設備

晶圓級自動化視覺檢測系統確保了半導體 IC 的最高質量和可靠性,並使製造商能够不斷提高產量。 這些系統採用精密光學和模擬電路來識別晶圓製造過程中的最小缺陷。 隨著最新工藝節點的進步,光刻尺寸不斷縮小,製造商需要最高的缺陷靈敏度。 這一要求強調了視覺系統中需要大量雜訊濾波的模擬和混合訊號電路。 隨著電力需求的新增,濾波器變得太大而無法與這些系統相容。 為了跟上半導體晶圓製造的進步,需要一種新的供電方法。

Precision inspection equipment

供電網路

自動化視覺系統設計工程師可以從重新考慮 PDN 開始,降低敏感晶圓檢測系統中的雜訊。 關鍵的第一步是將系統從過時的 12V 母線轉換到更節能的 48V 母線,以改善效率和熱問題。然而,為了完全達到晶圓檢測的要求,必須採用一種固有雜訊較低的解決方案。採用正弦振幅轉換(SAC)拓撲結構的 Vicor BCM 固定比率轉換器可降低雜訊,並能讓製造商使用更少的濾波。此外,緊湊的尺寸和輕薄的外形簡化了熱管理,從而簡化了檢測系統的機械設計。

Power Delivery Network for
BCM bus converters

BCM® 高壓母線轉換器模組

輸入:800 – 48V

輸出:2.4 – 55.0V

功率:高達 150A

效率:高達 98%

小巧至 22.0 x 16.5 x 6.7 mm

DCM DC-DC converters

DCM DC-DC 轉換器

輸入:9 – 420V

輸出:3.3, 5, 12, 13.8, 15, 24, 28, 36, 48V

功率:高達 1300W

效率:高達 96%

小巧至 24.8 x 22.8 x 7.2mm

ZVS 降壓穩壓器

輸入:12V (8 – 18V), 24V (8 – 36V), 48V (30 – 60V)

輸出:1 – 16V 

功率:高達 22A

峰值效率:高達 98%

小巧至 10.0 x 10.0 x 2.5mm  

資源

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